X射线光电子能谱仪(XPS),具体型号为Nexsa G2表面分析系统。
它是一款高性能的表面分析仪器,集成了X射线光电子能谱(XPS)、离子散射光谱(ISS)、紫外光电子能谱(UPS)、反射电子能量损失谱(REELS)和拉曼光谱等多种分析技术,可实现对样品表面元素组成、化学态、价带结构、分子结构等多维度的“关联分析”。在材料科学、微电子、纳米技术、催化剂等领域的研究中,能用于物相鉴定、表面成分分析、深度剖析等多种应用场景。